納設智能
關鍵詞：
<strong>智能制造</strong> 兼容AGV&天車，可實現(xiàn)全自動化配套； 配置NH3、N2、TMAL模塊，可自由組合，滿足不同產(chǎn)品規(guī)格。 <strong>自主安全</strong> 通過SEMI認證，符合行業(yè)標準和規(guī)范； 具備自主知識產(chǎn)權，具有獨特的技術優(yōu)勢。
關鍵詞：
<strong>反應腔室</strong> 石墨腔室配件數(shù)量少，結構更簡化；? 腔室進氣/傳片方式獨特，減少外延掉落物。 <strong>尾氣系統(tǒng)</strong> 維護僅打磨平板石墨件，方便配件的清理操作；? 維護無需分離傳輸腔，只打開腔室后端法蘭，維護簡易。 <strong>氣體系統(tǒng)</strong> 5區(qū)進氣，乙烯/三氯氫硅每區(qū)獨立控制；? 各區(qū)碳硅比獨立控制，調(diào)整更靈活。 <strong>晶圓控制</strong> 工藝中晶圓轉速可精確調(diào)控；? 工藝中晶圓高度位置精確調(diào)控。
關鍵詞：
<strong>精確：氣路獨立可控</strong> ● 精湛：工藝指標優(yōu)異 ● 低耗：耗材成本更低? ● 省時：維護頻次更低? ● 進階：NP型靈活切換
關鍵詞：
薄膜性能：片內(nèi)/片間/批次間不均勻性＜±5%，折射率不均勻性＜±3%（不均勻性=(最大值-最小值)/(最大值+最小值)） 產(chǎn)品特色：A源B源氣路獨立，工藝距離可調(diào)，源瓶壓力可控，自動傳片及取片，可擴展腔體及氣路數(shù)量，支持客戶定制
關鍵詞：